In-situ stress evolution and its correlation with structural characteristics of GaN buffer grown on Si substrate using AlGaN/AlN/GaN stress mitigation layers for high electron mobility transistor applications

In-situ stress evolution as a function of thickness has been investigated and correlated with the structural properties and surface morphology of GaN buffer layer grown on AlGaN/AlN/GaN stress mitigating layers (SMLs). For comparison, GaN buffer was also grown on AlN/GaN SMLs. AlGaN/AlN/GaN SMLs exh...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Lingaparthi, R., Dharmarasu, Nethaji, Radhakrishnan, K., Agrawal, Manvi
مؤلفون آخرون: School of Electrical and Electronic Engineering
التنسيق: مقال
اللغة:English
منشور في: 2021
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://hdl.handle.net/10356/154381
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!