In-situ stress evolution and its correlation with structural characteristics of GaN buffer grown on Si substrate using AlGaN/AlN/GaN stress mitigation layers for high electron mobility transistor applications
In-situ stress evolution as a function of thickness has been investigated and correlated with the structural properties and surface morphology of GaN buffer layer grown on AlGaN/AlN/GaN stress mitigating layers (SMLs). For comparison, GaN buffer was also grown on AlN/GaN SMLs. AlGaN/AlN/GaN SMLs exh...
محفوظ في:
المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
---|---|
مؤلفون آخرون: | |
التنسيق: | مقال |
اللغة: | English |
منشور في: |
2021
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/154381 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
كن أول من يترك تعليقا!