Investigation into optical nanolithography employing wavefront engineering techniques and evanescent waves interference
Optical lithography is an important process in the realization and advancement of nanotechnology. This thesis proposes and investigates potential approaches to ameliorate process issues associated to patterning at high resolution as well as to achieve patterning resolution beyond fundamental limitat...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Theses and Dissertations |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2010
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/41659 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|