Characterization of silicon nanocrystals embedded in SiO2 matrix

• المؤلف الرئيسي: Liu, Yang
• مؤلفون آخرون: Chen Tupei
• التنسيق: Theses and Dissertations
• منشور في: 2008
• الموضوعات: DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Nanoelectronics
• الوصول للمادة أونلاين: https://hdl.handle.net/10356/4750

In this thesis, we have synthesized Si nanocrystals (nc-Si) embedded in SiO2 films by implanting Si+ into SiO2 films that are thermally grown on Si substrates.