DEVELOPMENT OF PLASMA ETCHING AND STRIPPING PROCESSES OF LOW-K DIELECTRICS FOR COPPER DAMASCENE METALLISATION
Master's
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| 主要作者: | |
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| 其他作者: | |
| 格式: | Theses and Dissertations |
| 出版: |
2019
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| 主題: | |
| 在線閱讀: | https://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/153904 |
| 標簽: |
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| 機構: | National University of Singapore |