Plasma etching optimization of oxide/nitride/oxide interpoly dielectric breakdown time in flash memory devices

10.1109/66.857949

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Cha, C.L., Chor, E.F., Gong, H., Zhang, A.Q., Chan, L.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/80991
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore