Pulsed laser salicidation for fabrication of ultra-thin silicides in sub-quarter micron devices

• المؤلفون الرئيسيون: HO, CHAW SING, LEE, YUAN PING, LAP, CHAN, LU, YONG FENG, KARUNASIRI, R.P.G.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: Patent
• منشور في: 2012
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/32584

US6156654