Process flow for a performance enhanced MOSFET with self-aligned, recessed channel

• المؤلفون الرئيسيون: SNEELAL, SNEEDHARAN PILLAI, POH, FRANCIS, LEE, JAMES, SEE, ALEX, LAU, C. K., SAMUDRA, GANESH SHANKAR
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: Patent
• منشور في: 2012
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/32718

US7091092