Controlled synthesis of aligned carbon nanotube arrays on catalyst patterned silicon substrates by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Controlled synthesis of aligned carbon nanotube arrays on catalyst patterned silicon substrates by plasma-enhanced chemical vapor deposition

10.1016/S0169-4332(01)00391-9

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Wang, H., Lin, J., Huan, C.H.A., Dong, P., He, J., Tang, S.H., Eng, W.K., Thong, T.L.J.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
Carbon nanotubes
Lithography
Pattern
PE-CVD
SEM
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/55424
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة

مواد مشابهة