Metal gate technology for nanoscale transistors - Material selection and process integration issues
10.1016/j.tsf.2004.05.039
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| 格式: | Article |
| 出版: |
2014
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| 在線閱讀: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/56607 |
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| 總結: | 10.1016/j.tsf.2004.05.039 |
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