Subwavelength lithography by waveguide mode interference

• المؤلفون الرئيسيون: Wang, B., Bian Chew, A., Teng, J., Si, G., Danner, A.J.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/57559

10.1063/1.3651274