Influence of boundary conditions on the dynamic characteristics of squeeze films in MEMS devices

• المؤلفون الرئيسيون: Pandey, A.K., Pratap, R., Chau, F.S.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Computational fluid dynamics (CFD); Experimental quality factor; Microelectromechanical system (MEMS); Partially blocked boundaries; Squeeze-film damping; Torsional motion
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/60522
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1109/JMEMS.2007.901135