Silicon beam structures comprising nanophotonics as NEMS sensors

• المؤلفون الرئيسيون: Lee, C., Thillaigovindan, J., Radhakrishnan, R., Li, J., Balasubramanian, N.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: MEMS; Nanophotonics; NEMS; Sensors
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/71770

10.1109/NEMS.2008.4484333