A MEMS platform for 2-D fine-positioning and locking of optical ball-lens in silicon photonics packaging

• المؤلفون الرئيسيون: Zhang, Q.X., Du, Y., Tan, C.W., Zhang, J., Yu, M.B., Lo, G.Q., Kwong, D.L.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73037

10.1109/PGC.2010.5705982