Neural network approach for linearization of the electrostatically actuated double-gimballed micromirror

• المؤلفون الرئيسيون: Zhou, G., Cheo, K.K.L., Tay, F.E.H., Chau, F.S.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: MEMS; Micromirror and macro modeling; Optical MEMS
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73677
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1023/B:ALOG.0000032595.72995.62