Accurate characterization of thin films on rough surfaces by spectroscopic ellipsometry

10.1016/j.tsf.2013.07.067

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Siah, S.C., Hoex, B., Aberle, A.G.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/81928
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore