Low substrate temperature fabrication of high-performance metal oxide thin-film by magnetron sputtering with target self-heating

• المؤلفون الرئيسيون: Yang, W.F., Liu, Z.G., Wu, Z.Y., Hong, M.H., Wang, C.F., Lee, A.Y.S., Gong, H.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/82627

10.1063/1.4795763