Effect of thermal annealing on reactive radio-frequency magnetron-sputtered carbon nitride films

• المؤلفون الرئيسيون: Chen, G.L., Li, Y., Lin, J., Huan, C.H.A., Guo, Y.P.
• مؤلفون آخرون: PHYSICS
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/96344

10.1088/0022-3727/32/3/003