Fabrication of silicon microstructures using a high energy ion beam

• المؤلفون الرئيسيون: Teo, E.J., Liu, M.H., Breese, M.B.H., Tavernier, E.P., Bettiol, A.A., Blackwood, D.J., Watt, F.
• مؤلفون آخرون: PHYSICS
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Electrochemical etching; Ion accelerator; Porous silicon; Proton beam writing; Silicon micromachining
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/98711
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1117/12.524314