3D simulations on surface growth via chemical vapour deposition: Kinetic monte carlo investigation

In this study, we used the kinetic Monte Carlo simulation to investigate the growth dynamic of the films on a substrate by imitating the chemical vapour deposition process. As a prototype, the system was confined into three-dimensional slap where the deposit chamber was divided into array grids. The...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Thongon A., Choopun S., Yimnirun R., Laosiritaworn Y.
التنسيق: Conference or Workshop Item
اللغة:English
منشور في: Taylor and Francis Inc. 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84901420608&partnerID=40&md5=e94179cc659c3fc382794f6251c3c1c1
http://cmuir.cmu.ac.th/handle/6653943832/4801
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: Chiang Mai University
اللغة: English

مواد مشابهة