Development of procedures for programmable proximity aperture lithography
Programmable proximity aperture lithography (PPAL) with MeV ions has been used in Jyväskylä and Chiang Mai universities for a number of years. Here we describe a number of innovations and procedures that have been incorporated into the LabView-based software. The basic operation involves the coordin...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | دورية |
| منشور في: |
2018
|
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84879082989&origin=inward http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/48105 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|