High-energy heavy ion beam annealing effect on ion beam synthesis of silicon carbide

Silicon carbide (SiC) is a superior material potentially replacing conventional silicon for high-power and high-frequency microelectronic applications. Ion beam synthesis (IBS) is a novel technique to produce large-area, high-quality and ready-to-use SiC crystals. The technique uses high-fluence car...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: J. Khamsuwan, S. Intarasiri, K. Kirkby, C. Jeynes, P. K. Chu, T. Kamwanna, L. D. Yu
التنسيق: دورية
منشور في: 2018
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=80055101622&origin=inward
http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/49810
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!