Event-based manufacturing modeling for design of a smart equipment management system (SEMS) for semiconductor industry
In semiconductor manufacturing, the role of maintenance is gradually being recognized as an important factor in reducing the equipment downtime and ensuring that the equipment operates optimally to produce good quality parts with acceptable yield and throughput levels. Maintenance strategy of highly...
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Zhao, Xian. |
---|---|
مؤلفون آخرون: | Xie, Lihua |
التنسيق: | Theses and Dissertations |
منشور في: |
2008
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | http://hdl.handle.net/10356/4031 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Rule-based event management system web application design
بواسطة: Zhao, Xihui.
منشور في: (2012) -
Fault detection and prognostic of abnormal equipment situations
بواسطة: Yang, Xi
منشور في: (2010) -
Distributed resource allocation algorithm design and its application to economic dispatch in smart grids
بواسطة: Bai, Lu
منشور في: (2020) -
Semiconductor materials for gas sensing applications
بواسطة: Tan, Ooi Kiang, وآخرون
منشور في: (2008) -
Semiconductor oxide based gas sensors
بواسطة: Cao, Wen Qing
منشور في: (2008)