Optical coatings using filtered cathodic vacuum arc technique

The objectives of this thesis are to stabilize the cathode source and also deposit stoichiometric aluminum oxide films. Firstly, the arc spot phenomena is study and what parameters influence the stability of the arc are conducted in experiments.

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Choong, Yoon Shin.
مؤلفون آخرون: Shi, Xu
التنسيق: Theses and Dissertations
منشور في: 2008
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://hdl.handle.net/10356/4160
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: Nanyang Technological University
الوصف
الملخص:The objectives of this thesis are to stabilize the cathode source and also deposit stoichiometric aluminum oxide films. Firstly, the arc spot phenomena is study and what parameters influence the stability of the arc are conducted in experiments.