Growth dynamics of Si1-yCy and Si1-x-yGexCy on Si(001) surface from disilane, germane, and methylsilane

10.1063/1.1519734

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Price, R.W., Tok, E.S., Woods, N.J., Zhang, J.
مؤلفون آخرون: MATERIALS SCIENCE
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/107055
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore