Growth dynamics of Si1-yCy and Si1-x-yGexCy on Si(001) surface from disilane, germane, and methylsilane
10.1063/1.1519734
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| 格式: | Article |
| 出版: |
2014
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| 在線閱讀: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/107055 |
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| 機構: | National University of Singapore |