FIB precision TEM sample preparation using carbon replica

• المؤلفون الرئيسيون: Sheng, T.T., Goh, G.P., Tung, C.H., Wang, John L.F., Cheng, Jeng Kou
• مؤلفون آخرون: INSTITUTE OF MICROELECTRONICS
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/112977

Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits, IPFA