Thermal stability of rare-earth based ultrathin Lu2 O3 for high- k dielectrics

10.1116/1.2749526

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書目詳細資料
Main Authors: Darmawan, P., Lee, P.S., Setiawan, Y., Lai, J.C., Yang, P.
其他作者: SINGAPORE SYNCHROTRON LIGHT SOURCE
格式: Article
出版: 2014
在線閱讀:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/116652
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