The augmented saddle field discharge characteristics and its applications for plasma enhanced chemical vapour deposition

10.1063/1.4798928

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Wong, J., Yeghikyan, D., Kherani, N.P.
مؤلفون آخرون: SOLAR ENERGY RESEARCH INST OF S'PORE
التنسيق: Conference or Workshop Item
منشور في: 2016
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/128760
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!