Fabrication of concave micro lens array using laser patterning and isotropic etching

• المؤلفون الرئيسيون: Lim, C.S., Hong, M.H., Kumar, A.S., Rahman, M., Liu, X.D.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Isotropic etching; Laser patterning; Lens sag; Micro lens arrays
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/50920
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1016/j.ijmachtools.2005.06.004