Investigation of active Si pitting and its impact on 0.15 and 0.30 μm n-type metal-oxide-semiconductor and p-type metal-oxide-semiconductor transistors

• المؤلفون الرئيسيون: Chua, C.S., Chor, E.F., Goh, F., See, A., Chan, L.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/56396
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1116/1.1518972