Determining the interfacial toughness of low-k films on Si substrate by wedge indentation: Further studies

10.1016/j.actamat.2007.10.051

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Yeap, K.B., Zeng, K., Chi, D.
مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/59890
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore