Dopant profile extraction by inverse modeling of scanning capacitance microscopy using peak dC/dV

• المؤلفون الرئيسيون: Hong, Y.D., Yan, J., Wong, K.M., Yeow, Y.T., Chim, W.K.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/70006

International Conference on Solid-State and Integrated Circuits Technology Proceedings, ICSICT