A new fabrication process of silicon nanotips - NERCOM

• المؤلفون الرئيسيون: Tay, F.E.H., Iliescu, C., Xu, G., Chen, B., Avram, M.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Notching effect of reflected charges on the mask (NERCOM); RIE; Silicon nanotips
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73060
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1117/12.638516