Evaluation of silicon nitride and silicon carbide as efficient polysilicon grain-growth inhibitors

• المؤلفون الرئيسيون: Cha, C.L., Chor, E.F., Jia, Y.M., Bourdillon, A.J., Gong, H., Pan, J.S., Zhang, A.Q., Tang, S.K., Boothroyd, C.B.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/80403
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1023/A:1006679625601