Study of rf-sputtered yttrium oxide films on silicon by capacitance measurements

10.1063/1.359588

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Ling, C.H., Bhaskaran, J., Choi, W.K., Ah, L.K.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/81230
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore