Optimization of NEMS pressure sensors with a multilayered diaphragm using silicon nanowires as piezoresistive sensing elements

• المؤلفون الرئيسيون: Lou, L., Zhang, S., Park, W.-T., Tsai, J.M., Kwong, D.-L., Lee, C.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/82845
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1088/0960-1317/22/5/055012