A study of titanium nitride diffusion barriers between aluminium and silicon by X-ray absorption spectroscopy: The Si, Ti and N results

10.1107/S0909049500018252

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Hu, Y.F., Sham, T.K., Zou, Z., Xu, G.Q., Chan, L., Yates, B.W., Bancroft, G.M.
مؤلفون آخرون: CHEMISTRY
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/93017
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore