Enhancement of proton beam writing in PMMA through optimization of the development procedure

10.1016/j.nimb.2009.03.045

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Bolhuis, S., van Kan, J.A., Watt, F.
مؤلفون آخرون: PHYSICS
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/96475
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!