Applications of higher-order phase shifting algorithms for multiple-wavelength metrology

Multiple-wavelength interferometric techniques have been successfully used for large step-height and large deformation measurements. Also it could resolve the step height between smooth and rough surfaces which is not possible with single wavelength interferometry. Temporal phase shifting algorithm,...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Upputuri, Paul Kumar, Pramanik, Manojit
مؤلفون آخرون: School of Chemical and Biomedical Engineering
التنسيق: Conference or Workshop Item
اللغة:English
منشور في: 2019
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://hdl.handle.net/10356/104906
http://hdl.handle.net/10220/49473
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: Nanyang Technological University
اللغة: English

مواد مشابهة