Simultaneous profiling of optically smooth and rough surfaces using dual-wavelength interferometry
Interferometers are widely used in industry for surface profiling of microsystems. It can be used to inspect both smooth (reflective) and rough (scattering) surfaces in wide range of sizes. If the object surface is smooth, the interference between reference and object beam results in visible fringes...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Conference or Workshop Item |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2021
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/146467 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Nanyang Technological University |
| اللغة: | English |