Studies on digital holography and interferometric application in micromeasurement

With the aim to improve the system performance and further extend the application scope to the rapidly growing microelectromechanical system (MEMS) engineering, the methodology of in-line digital micro-holo-interferometry (IDMHI) is proposed and its performance in micromeasurement is studied in thi...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Xu, Lei.
مؤلفون آخرون: Miao, Jianmin
التنسيق: Theses and Dissertations
منشور في: 2008
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://hdl.handle.net/10356/5436
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: Nanyang Technological University

مواد مشابهة