The development of RAS and RHEED as in situ probes to monitor dopant segregation in GS-MBE on Si (0 0 1)

10.1016/S0022-0248(01)00811-9

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Hartell, A.D., Tok, E.S., Zhang, J.
مؤلفون آخرون:	MATERIALS SCIENCE
التنسيق:	Conference or Workshop Item
منشور في:	2014
الموضوعات:	A1. Doping A1. Segregation A3. Chemical vapour deposition processes A3. Molecular beam epitaxy B2. Semiconducting silicon B2. Semiconducting silicon compounds
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/107316
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة:	National University of Singapore

مواد مشابهة