Deformation measurement of MEMS components using optical interferometry

10.1088/0957-0233/14/7/303

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Wang, S.H., Quan, C., Tay, C.J., Reading, I., Fang, Z.P.
مؤلفون آخرون:	MECHANICAL ENGINEERING
التنسيق:	مقال
منشور في:	2014
الموضوعات:	Accelerometer Deformation measurement Microphone Optical interferometry Uncertainty evaluation
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/59849
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة