Optimal control of conductive heating systems for microelectronics processing of silicon wafers and quartz photomasks

• المؤلفون الرئيسيون: Ho, Weng Khuen, Tay, Arthur, Schaper, Charles D.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/72835
• المؤسسة: National University of Singapore

IECON Proceedings (Industrial Electronics Conference)