Characterization of Ni- and Ni(Pt)-silicide formation on narrow polycrystalline Si lines by Raman spectroscopy

• المؤلفون الرئيسيون: Lee, P.S., Mangelinck, D., Pey, K.L., Ding, J., Osipowicz, T., Ho, C.S., Chen, G.L., Chan, L.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/81387
• المؤسسة: National University of Singapore

Materials Research Society Symposium - Proceedings