Sims depth profiling analysis of Cu/Ta/SiO2 interfacial diffusion at different annealing temperature
International Journal of Modern Physics B
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| 格式: | Conference or Workshop Item |
| 出版: |
2014
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| 在線閱讀: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/84185 |
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| 機構: | National University of Singapore |