MEMS-based semiconductor metal oxide gas sensors for harsh environment applications
Sulphur dioxide (SO2) is a critical substance in the corrosive sulfidation of aircraft engine blades. Monitoring the local SO2 concentrations in proximity to the engines requires the sensors to be able to operate in dry environment with high temperatures. However, the prevalent commercial sensors, b...
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Liu, Haotian |
---|---|
مؤلفون آخرون: | Li King Ho, Holden |
التنسيق: | Thesis-Doctor of Philosophy |
اللغة: | English |
منشور في: |
Nanyang Technological University
2023
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/170581 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
المؤسسة: | Nanyang Technological University |
اللغة: | English |
مواد مشابهة
-
Microhotplates for metal oxide semiconductor gas sensor applications—towards the CMOS-MEMS monolithic approach
بواسطة: Liu, Haotian, وآخرون
منشور في: (2019) -
Nano-sized strontium titanate metal oxide semiconductor oxygen gas sensors
بواسطة: Hu, Ying
منشور في: (2008) -
Development of polymeric microelectronics packaging encapsulation for harsh environment applications
بواسطة: Phua, Eric Jian Rong
منشور في: (2018) -
Functional link neural network-based intelligent sensors for harsh environments
بواسطة: Patra, Jagdish Chandra, وآخرون
منشور في: (2011) -
Semiconductor oxide based gas sensors
بواسطة: Cao, Wen Qing
منشور في: (2008)