Residual stress measurement in thin films at sub-micron scale using Focused Ion Beam milling and imaging

• المؤلفون الرئيسيون: Song, X., Yeap, K.B., Zhu, J., Belnoue, J., Sebastiani, M., Bemporad, E., Zeng, K., Korsunsky, A.M.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Digital image correlation; Focused Ion Beam; Residual stress; Strain relief function
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/61229
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1016/j.tsf.2011.10.211