Does short wavelength lithography process degrade the integrity of thin gate oxide?

Microelectronics Reliability

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Kim, S.J., Cho, B.J., Chong, P.F., Chor, E.F., Ang, C.H., Ling, C.H., Joo, M.S., Yeo, I.S.
مؤلفون آخرون:	ELECTRICAL ENGINEERING
التنسيق:	مقال
منشور في:	2014
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/62059
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة