Continuum modeling of post-implantation damage and the effective plus factor in crystalline silicon at room temperature

10.1016/j.tsf.2005.09.167

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Chan, H.Y., Srinivasan, M.P., Benistant, F., Mok, K.R., Chan, L., Jin, H.M.
مؤلفون آخرون: CHEMICAL & BIOMOLECULAR ENGINEERING
التنسيق: Conference or Workshop Item
منشور في: 2014
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/74522
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore

مواد مشابهة